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2023-11-06

电子ファインケミカル材料におけるSSiCプレートの応用を探る

1.はじめに: SSiCプレートと電子ファインケミカル材料におけるその役割を理解するSSiCプレートは、シリコン化炭化ケイ素プレートとも呼ばれ、電子ファインケミカル材料の分野で不可欠なコンポーネントです。これらのプレートは、シリコン溶融物を多孔質炭化ケイ素マトリックスに浸透させ、固化させることによって製造されています。得られたSCiCプレートは、電子ファインケミカル材料のさまざまな用途に理想的な優れた特性を示します。